整个电路的晶体管、二极管、电阻器、电容器和电感元件及其互连线，都是用厚度为1微米以下的金属、半导体、金属氧化物以及多种金属混合相、合金或绝缘介质薄膜，并通过真空蒸发工艺、溅射工艺和电镀工艺重叠构成。今...

2022-09-16 104 集成