氢氟酸生产(氢氟酸生产上市企业)

摘要：我们所知在薄化产业中对玻璃基板主要是通过氢氟酸进行蚀刻减薄，本文根据对我国现行《工业氢氟酸》标准和相关参考资料，对国内工业氢氟酸的标准差异和测定情况进行摘选和汇总，希望能给薄化产业中相关企业，在采购、生产和品质应用等做一定的参考。

我国现行标准：

1、GB 7744－2008《工业氢氟酸》

国外参考标准：

2、日本：JIS K1405－1995《氢氟酸》

3、俄罗斯：GOST 2567—1989《工业氢氟酸技术条件》

4、美国：MIL—A—24641A—86《工业氢氟酸》

通过分析我国《工业氢氟酸》标准和国外标准，我们发现在氢氟酸产品指标项目设置都差不多，但指标值有较大差异。（参考下图表）

表1：GB 7744－2008《工业氢氟酸》

表2：国外标准对比表

由表1和表2，日本标准中设四项指标：氟化氢（HF）含量、氟硅酸（H2SiF6）含量、硫酸（H2SO4）含量、灼烧残渣含量。俄罗斯标准和国标设置三项指标：氟化氢（HF）含量、氟硅酸（H2SiF6）含量、硫酸（H2SO4）含量。MIL—A—24641A—86《工业氢氟酸》只规定了氟化氢（HF）含量。

在我国现行《工业氢氟酸》标准产品中氢氟酸含量主要依据使用要求而确定，标准中Ⅰ型产品确定为三个浓度，分别为不小于40%、55%和70%。Ⅱ型产品确定为四个浓度，分别为不小于30%、40%、50%和55%。

我国标准中Ⅰ型、Ⅱ型产品氟硅酸和不挥发酸含量要求差别很大

主要原因：两类别在不同用途中对氟硅酸和不挥发酸含量的要求不同。

Ⅰ型产品：主要用于氟盐的生产原料，为保证下游产品的质量，应对此项指标进行相对较严格的控制。标准对该指标在三个规格的产品中，确定了相同的指标参数，其含量为不大于0.05%。

Ⅱ型产品：规定的用途中虽然包括了氟铝酸钠、氟化铝等氟盐的生产，但这些氟盐产品的用途主要是冶金行业的添加剂，如炼铝助熔剂等，所以对氢氟酸产品中氟硅酸含量的要求不高。由于Ⅱ型产品用途相对较广，通常也用于蚀刻玻璃金属及金属表面处理方面的产品，对氟硅酸含量的要求同样相对较低，所以在Ⅱ型产品中氟硅酸含量较高，四个规格的产品分别为不大于2.5％、5.0％、8.0％和10.0％。

（其他详细数据值参考“表1”）

目前参考的氢氟酸测定方法标准有：

1、ISO3139-1976《工业用含水氢氟酸取样和试验方法》

2、ISO 3139 AMD1－1980《工业用含水氢氟酸取样和试验方法（修改1）》

3、BS 5366：1986《工业用氢氟酸的取样和试验方法》

4、JISK1466-1995《半导体级氢氟酸的试验方法》

通过相关资料了解到，国内外相关产品各标准在相同项目的测定方法基本是一致的。如氢氟酸含量采用以酚酞为指示剂，以氢氧化钠标准滴定溶液为滴定剂的酸碱中和滴定法；氟硅酸含量的测定采用在钾盐存在下使其生成氟硅酸盐后分离，沉淀溶解后用氢氧化钠标准滴定溶液滴定。对于低含量的氟硅酸的测定，一般采用硅钼蓝分光光度法进行测定；硫酸含量的测定是将氢氟酸分离后，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定。日本标准中规定的灼烧残渣含量的测定为700℃下灼烧后稳重的方法。

氢氟酸各项指标参数测定

相关资料了解，日本标准JIS K1405－1995《氢氟酸》相对于其它国外标准，技术要求、指标项目、试验方法等方面均处于领先水平。但由于日本标准主要是针对本国的生产、使用要求而制定的，与我国对氢氟酸的要求存在一定的差异。但对我国标准有借鉴作用。

1、氢氟酸含量的测定

各国基本都是采用氯化钾消除氟硅酸盐的干扰，用氢氧化钠标准滴定溶液，以酚酞的指标剂进行滴定。

我国标准中的测定方法是将产品的总酸度测出后，再分别测出氟硅酸、硫酸含量。用总酸度数值分别减去氟硅酸含量、硫酸含量，最后结果以氟化氢表示

。

日本标准中的计算方法与我国标准有所不同

，

但两个标准最终测定结果是一致的。

另外从相关资料了解到，在测定氢氟酸含量过程中，我国和日本的测定标准中都加入冰块降温，两者目的都是使产品中的氟硅酸与钾盐反应物的溶解程度降到最低，确保在滴定过程氟硅酸钾不溶解。但我国采用的是在制样过程中加入冰块的方法，而日本标准中是在加入硝酸钾溶液后再加入冰块。我国标准中在制备试验溶液时加入冰块，除了保证氟硅酸钾不溶解，同时还能避免在称样过程中样品的挥发。

2、氟硅酸含量的测定

各国标准中所采用的原理是一致，对于氟硅酸含量较低的测定主要采用分光光度法，原理为：硅酸盐与钼酸盐反应形成硅钼杂多酸(黄色)，用还原液将硅钼杂多酸还原，在波长795 nm处测量蓝色络合物的吸光度。

各国标准中所不同的是将硅钼杂多酸还原所用的还原剂，国标和日本标准中采用以亚硫酸根为主还原液，而俄罗斯标准中则采用抗坏血酸为还原剂。另外测定波长在各标准中规定也有所不同，国标中只规定波长795 nm，日本标准除规定波长795 nm外，还可以采用波长680nm，俄罗斯标准中规定波长650～700nm。

对于氟硅酸含量较高的测定是采用在测定主含量时连续测定的方法，该方法在测定时利用了酸碱滴定法的原理。

我国氟硅酸含量测定标准和日本的不同

我国标准中Ⅰ型产品氟硅酸含量（小于0.05%）的测定采用硅钼蓝分光光度法，Ⅱ型产品的氟硅酸含量的测定（含量大于2.5%）采用酸碱滴定法。而日本标准（包括无水氢氟酸）关于氟硅酸含量的测定规定了两种测定方法，日本标准中对于有水产品的高氟硅酸含量（含量小于0.05%）采用酸碱滴定法，对于无水产品的氟硅酸含量（小于0.01%）采用硅钼蓝分光光度法。

3、不挥发酸（硫酸）的测定

各国标准基本也是采用加热的方法，将氟化氢蒸发至尽，剩余的不挥发酸（硫酸）用酸碱滴定法以酚酞为指标剂滴定至粉红色。日本标准和我国标准均采用酸碱滴定法，俄罗斯标准中除了酸碱滴定法外还同时规定目视比浊法测定硫酸含量。为保证测定结果的精确度，本标准中不挥发酸含量的测定采用酸碱滴定法，对于含量较低的产品（Ⅰ型产品）采用加大称样量办法提高滴定的准确度。

5、灼烧残渣含量的测定

对于灼烧残渣含量指标，我们了解国标GB 7744－1998《工业氢氟酸》是没有的，在现行版本中，我国参考日本标准规定加入灼烧残渣含量指标，其测定方法采用与日本标准相同的方法，即700±50℃下灼烧后称量残渣的重量。

附件：GB 7744－2008《工业氢氟酸》

（责任编辑：Deyan Chiu薄化产业研究www.tftslimming.com）